Las ventajas y desventajas de medir el espesor de la película con un medidor de pasos.
Ventajas del medidor de pasos para medir el espesor de la película:
El medidor de pasos utiliza el principio de interferencia óptica para calcular el espesor de la capa de película midiendo la altura del paso en la superficie de La capa de película. Tiene alta precisión de medición y tiene las ventajas de una velocidad rápida y un amplio rango de aplicación. Al utilizar un sensor capacitivo LVDC, tiene las características de resolución subangstrom y medición de fuerza ultramicro, lo que le otorga grandes ventajas en la medición del espesor de la película conductora ITO.
Medidor de pasos CP200
Medición del espesor de la película ITO
Principio de funcionamiento de la medición del espesor de la película ITO
Cuando el lápiz se mueve suavemente a lo largo de la línea medida Superficie Al deslizarse, debido a los pequeños picos y valles de la superficie, el lápiz se mueve hacia arriba y hacia abajo a lo largo de los picos y valles mientras se desliza. El movimiento del lápiz refleja el contorno de la superficie.
Por lo general, se utiliza una punta de diamante de 2 μm de radio para medir estas pequeñas características. Una etapa xy de precisión combina el eje de escaneo R y la plataforma giratoria θ para mover la muestra debajo del lápiz. El desplazamiento vertical en el lápiz se convierte en una señal eléctrica correspondiente al tamaño de la característica. Estas señales eléctricas luego se convierten a un formato digital donde pueden mostrarse en una pantalla de computadora y manipularse para determinar diversa información analítica sobre el sustrato. La duración y la velocidad del escaneo se pueden ajustar para aumentar o disminuir el tiempo y la resolución del análisis. Además, la fuerza de medición es ajustable para adaptarse a superficies de materiales duros o blandos. Características de rendimiento
1) Una platina totalmente eléctrica combinada con una platina giratoria de 360° puede localizar rápidamente la marca de medición.
2) Para muestras por lotes, se proporcionan múltiples personalizaciones. La función de medición regional permite; medición multipunto con un solo clic;
3) Proporciona la función de análisis estadístico SPC para analizar intuitivamente la tendencia de cambio de los valores de medición;