Proceso de producción de silicio monocristalino y silicio policristalino.
De hecho, existen varios métodos para producir polisilicio. Aquí hay un proceso para producir polisilicio utilizando el método Simon modificado más convencional (foro recomendado: Haichuan Chemical Forum): 1. Proceso de preparación y purificación de hidrógeno. p>
El gas hidrógeno se produce mediante la descomposición electrolítica de salmuera en una celda electrolítica. Después de que el hidrógeno producido por electrólisis se enfría y el líquido se separa, ingresa al desaireador. Bajo la acción del catalizador, las trazas de oxígeno en el hidrógeno reaccionan con el hidrógeno para formar agua y se eliminan. El hidrógeno desoxigenado se seca a través de un conjunto de secadores de adsorción. El hidrógeno purificado y seco se envía al tanque de almacenamiento de hidrógeno y luego a los procesos de síntesis de cloruro de hidrógeno, reducción de hidrogenación de triclorosilano y hidrogenación de tetracloruro de silicio.
El oxígeno producido por electrólisis se enfría y se separa en líquidos antes de enviarse al tanque de almacenamiento de oxígeno. El oxígeno del tanque de almacenamiento de oxígeno se envía al embotellado.
El separador gas-líquido descarga adsorbente residual, el desoxidador de hidrógeno descarga catalizador de desoxigenación residual y el secador descarga adsorbente residual, todos los cuales son reciclados y reutilizados por el proveedor.
2. Proceso de síntesis de cloruro de hidrógeno
El hidrógeno procedente del proceso de preparación y purificación de hidrógeno y el hidrógeno reciclado devuelto del proceso de separación en seco del gas de síntesis entran respectivamente en el tanque amortiguador de hidrógeno de este proceso. y se almacenan en el tanque de mezcla interna. El hidrógeno del tanque intermedio de hidrógeno se introduce en la pistola de combustión situada en el fondo del horno de síntesis de cloruro de hidrógeno. El cloro gaseoso procedente del proceso de vaporización del cloro líquido pasa a través del tanque intermedio de cloro y también se introduce en la pistola de combustión situada en el fondo del horno de síntesis de cloruro de hidrógeno. El gas mixto de hidrógeno y cloro se enciende a la salida de la pistola de combustión y se genera gas cloruro de hidrógeno mediante una reacción de combustión. El gas cloruro de hidrógeno que sale del horno de síntesis fluye a través del enfriador de aire, el enfriador de agua, el enfriador profundo y el separador de niebla, y luego se envía al proceso de síntesis de triclorosilano.
Para garantizar la seguridad, este dispositivo está equipado con un sistema de absorción de gas de cloruro de hidrógeno compuesto principalmente por dos absorbentes de película descendente de cloruro de hidrógeno, dos juegos de tanques de circulación de ácido clorhídrico y bombas de circulación de ácido clorhídrico. ajustado debido a la carga del dispositivo o al gas cloruro de hidrógeno liberado por el socorro de emergencia. El sistema mantiene un funcionamiento continuo y puede recibir y absorber el gas cloruro de hidrógeno descargado del dispositivo en cualquier momento.
Para garantizar la seguridad, este proceso está equipado con un sistema de tratamiento de gases residuales que contiene cloro compuesto principalmente por una torre de tratamiento de gases residuales, un tanque de circulación de líquido alcalino, una bomba de circulación de líquido alcalino y un enfriador de circulación de líquido alcalino. . Si es necesario, el cloro del tanque intermedio de cloro y de las tuberías se puede enviar a la torre de tratamiento de gases residuales y eliminarlo lavándolo con una solución acuosa de hidróxido de sodio. El sistema de tratamiento de gases de escape mantiene un funcionamiento continuo para garantizar que los gases que contienen cloro puedan recibirse y tratarse en cualquier momento.
3. Proceso de síntesis de triclorosilano
El polvo de silicio crudo se levanta y transporta a través de la tolva inferior de polvo de silicio y luego se descarga en la tolva receptora de polvo de silicio. El polvo de silicio se coloca desde la tolva receptora a la tolva intermedia que se encuentra debajo. Después de reemplazar el gas en la tolva con cloruro de hidrógeno caliente y aumentar la presión para equilibrarla con la presión en la tolva inferior, el polvo de silicio se coloca en el suministro de polvo de silicio. tolva de abajo. El polvo de silicio en la tolva de suministro se introduce en la tubería de alimentación del horno de síntesis de triclorosilano a través de un alimentador en estrella instalado en la parte inferior de la tolva.
Después de que el gas cloruro de hidrógeno del proceso de síntesis de cloruro de hidrógeno se mezcla con el gas cloruro de hidrógeno circulante enviado desde el tanque regulador de cloruro de hidrógeno circulante, se introduce en la tubería de alimentación del horno de síntesis de triclorosilano y se alimenta desde la tolva de suministro de polvo de silicio. El polvo de silicio en el tubo es arrastrado y transportado, y ingresa al horno de síntesis de triclorosilano desde la parte inferior.
En el horno de síntesis de triclorosilano, el polvo de silicio y el gas cloruro de hidrógeno forman un lecho en ebullición y reaccionan para generar triclorosilano, así como tetracloruro de silicio, diclorosilano y cloruros metálicos, policlorosilano, hidrógeno y otros productos, este. El gas mezclado se llama gas de síntesis de triclorosilano. La reacción es altamente exotérmica. La pared exterior del horno de síntesis está equipada con una camisa de agua, y el agua de la camisa elimina el calor para mantener la temperatura de la pared del horno.
El gas de síntesis que transporta el polvo de silicio sale de la parte superior del horno de síntesis. Después de que parte del polvo de silicio se elimina mediante un sistema de eliminación de polvo seco compuesto por un colector de polvo ciclónico de tres etapas, se envía. al sistema de eliminación de polvo húmedo y se elimina mediante tetracloruro de silicio. En el lavado líquido, parte del polvo fino de sílice del gas se elimina al mismo tiempo que se lava, se introduce gas hidrógeno húmedo para entrar en contacto con el gas; los óxidos metálicos contenidos en el gas se hidrolizan y eliminan. El gas mezclado purificado del que se ha eliminado el polvo de silicio se envía al proceso de separación en seco del gas de síntesis.
4. Proceso de separación en seco del gas de síntesis
El gas de síntesis del proceso de síntesis de triclorosilano se separa en clorosilano líquido, hidrógeno y cloruro de hidrógeno gaseoso, respectivamente, y regresa al dispositivo para su uso. .
El gas de síntesis de triclorosilano fluye a través del tanque intermedio de gas mixto y luego ingresa a la torre de lavado por aspersión, donde es lavado por el líquido de clorosilano a baja temperatura que fluye desde la parte superior de la torre. La mayoría de los clorosilanos del gas se condensan y se mezclan con el líquido de lavado.
El clorosilano que sale de la parte inferior de la torre se presuriza mediante una bomba, y la mayor parte se refrigera y enfría y luego se recicla a la parte superior de la torre para lavar el gas. El exceso de clorosilano se envía a la torre de desorción de cloruro de hidrógeno.
La mayor parte del gas clorosilano se extrae de la parte superior de la torre de lavado por aspersión, se comprime mediante un compresor de gas mixto y se refrigera para enfriarse, y luego se envía a la torre de absorción de cloruro de hidrógeno. desde el fondo de la torre de análisis de cloruro de hidrógeno Después de lavarse con el clorosilano líquido congelado y enfriado, el clorosilano absorbe la mayor parte del cloruro de hidrógeno del gas y la mayor parte del clorosilano restante en el gas también se lava y condensa. El gas que sale de la parte superior de la torre es hidrógeno que contiene trazas de cloruro de hidrógeno y clorosilano. Después de eliminar aún más el cloruro de hidrógeno y el clorosilano a través de un conjunto de adsorbentes de cambio de temperatura y presión, se obtiene hidrógeno de alta pureza. El hidrógeno fluye a través del tanque de compensación de hidrógeno y luego regresa al proceso de síntesis de cloruro de hidrógeno para participar en la reacción de síntesis de cloruro de hidrógeno. El gas residual de regeneración del adsorbente contiene hidrógeno, cloruro de hidrógeno y clorosilano, y se envía al proceso de tratamiento de gases residuales para su tratamiento.
El clorosilano con gas de cloruro de hidrógeno disuelto en el fondo de la torre de absorción de cloruro de hidrógeno se calienta, se combina con el exceso de clorosilano del fondo de la torre de lavado por aspersión y luego se envía al centro del cloruro de hidrógeno. Torre de desorción para destilación a presión reducida. En la parte superior de la torre se obtiene gas cloruro de hidrógeno purificado. El gas de cloruro de hidrógeno que sale de la torre fluye a través del tanque de compensación de cloruro de hidrógeno y luego se envía al tanque de compensación de cloruro de hidrógeno de circulación instalado en el proceso de síntesis de triclorosilano. El cloruro de hidrógeno se elimina en el fondo de la torre para obtener el líquido de clorosilano regenerado; , la mayor parte del cual se enfría, se refrigera y se envía de regreso a la torre de absorción de cloruro de hidrógeno como absorbente, y el exceso de clorosilano líquido (es decir, el clorosilano separado del gas de síntesis de triclorosilano) se enfría y se envía al almacenamiento de clorosilano de materia prima. tanque del proceso de almacenamiento de clorosilano.
5. Proceso de separación y purificación de clorosilano
El líquido de clorosilano generado en el proceso de síntesis de triclorosilano y separado mediante el proceso de separación en seco del gas de síntesis se envía al proceso de almacenamiento de clorosilano como materia prima. tanque de almacenamiento generado en el proceso de reducción de clorosilano, y el líquido de clorosilano separado mediante el proceso de separación en seco del gas de cola de reducción se envía al tanque de almacenamiento de clorosilano reducido en el proceso de almacenamiento de clorosilano generado en el proceso de hidrogenación de tetracloruro de silicio; el proceso de separación en seco del gas de hidrogenación se envía al tanque de almacenamiento de hidroclorosilano en el proceso de almacenamiento de clorosilano. La materia prima clorosilano líquido, clorosilano líquido reducido y hidroclorosilano líquido se bombean mediante bombas respectivamente y se envían a diferentes torres de destilación en el proceso de separación y purificación de clorosilano.
6. Proceso de reducción de triclorosilano
El triclorosilano refinado mediante el proceso de separación y purificación de clorosilano se envía al vaporizador de triclorosilano de este proceso y se calienta mediante calentamiento con agua caliente y vaporización; El hidrógeno devuelto del proceso de separación en seco del gas de cola de reducción fluye a través del tanque intermedio de hidrógeno y también pasa al vaporizador para formar un gas mixto con una cierta proporción de vapor de triclorosilano.
El gas mezclado de triclorosilano e hidrógeno procedente del vaporizador de triclorosilano se envía al horno de reducción. En la superficie del núcleo de silicio/barra de silicio caliente que se activa en el horno de reducción, se produce una reacción de reducción de hidrógeno con triclorosilano y el silicio generado se deposita, lo que hace que el diámetro del núcleo de silicio/barra de silicio aumente gradualmente hasta alcanzar el tamaño especificado. La reacción de reducción de hidrógeno genera simultáneamente diclorosilano, tetracloruro de silicio, cloruro de hidrógeno e hidrógeno, que se envían al horno de reducción junto con triclorosilano e hidrógeno sin reaccionar. Después de ser enfriados por el enfriador de gas de cola de reducción con agua de refrigeración circulante, se envían directamente al horno. Horno de reducción. Proceso de separación en seco del gas de cola.
Se pasa agua caliente a través de la camisa del cilindro del horno de reducción para eliminar el calor irradiado desde el núcleo de silicio caliente en el horno a la pared interna del cilindro del horno y mantener la temperatura del interior. pared del barril del horno. El agua caliente a alta temperatura que sale de la camisa del cilindro del horno se envía al proceso de recuperación de energía térmica. Después de ser enfriada por la caldera de calor residual para producir vapor de agua, se recicla de nuevo a cada camisa del horno de reducción para su uso en este proceso.
Después de instalar el núcleo de silicio en el horno de reducción, utilice una bomba de vacío de chorro hidráulico para evacuar antes de comenzar la operación, luego reemplace el aire en el horno con nitrógeno, luego reemplace el nitrógeno en el horno con hidrógeno ( se evacua el nitrógeno), y luego la operación de calor, por lo que durante la fase de arranque, se debe descargar nitrógeno y una pequeña cantidad de agua de la bomba de vacío al aire ambiente (que puede descargarse como agua limpia durante la fase de apagado y arranque); (aproximadamente una vez cada 5 a 7 días), primero se usa hidrógeno para eliminar el contenido en el horno de reducción. El gas mixto de clorosilano, cloruro de hidrógeno e hidrógeno se presiona en el sistema de recuperación en seco del gas de cola de reducción para su recuperación y luego se reemplaza con nitrógeno. y luego se vacían los productos de polisilicio, se retiran los electrodos de grafito residual y se lava con agua ultrapura en el horno según corresponda, por lo que el horno se apaga. Esta etapa producirá nitrógeno, grafito residual y aguas residuales de limpieza. El nitrógeno es un gas inofensivo, por lo que en circunstancias normales no se emiten gases nocivos durante las etapas de apertura y cierre del horno de reducción. El grafito residual se recicla en la planta de producción original y las aguas residuales de limpieza se envían al sistema de tratamiento de aguas residuales ácido-base que contiene cloruro del proyecto para su tratamiento.
7. Proceso de separación en seco del gas de cola de reducción
El gas de cola de reducción del proceso de reducción de triclorosilano se separa en clorosilano líquido, hidrógeno y cloruro de hidrógeno gaseoso a través de este proceso, respectivamente. el dispositivo para su uso.
El principio y el proceso de separación en seco del gas de cola de reducción son muy similares al proceso de separación en seco del gas de síntesis de triclorosilano. Después de fluir a través del tanque de compensación de hidrógeno, la mayor parte del hidrógeno de alta pureza obtenido de la salida del adsorbedor de cambio de temperatura y cambio de presión regresa al proceso de reducción por hidrogenación de triclorosilano para participar en la reacción de producción de polisilicio, y el exceso de hidrógeno se envía a el proceso de hidrogenación de tetracloruro de silicio para participar en la reacción de hidrogenación del tetracloruro de silicio; el gas residual de regeneración del adsorbente se envía al proceso de tratamiento de gases residuales para su tratamiento; el gas de cloruro de hidrógeno purificado se obtiene de la parte superior de la torre de desorción de cloruro de hidrógeno y se envía a la tanque tampón de cloruro de hidrógeno circulante colocado en el proceso de síntesis de triclorosilano descompuesto del cloruro de hidrógeno. El exceso de líquido de clorosilano extraído del fondo de la torre (es decir, el clorosilano separado del gas de cola de reducción de triclorosilano) se envía al tanque de almacenamiento de clorosilano reducido; en el proceso de almacenamiento de clorosilano.
8. Proceso de hidrogenación del tetracloruro de silicio
El tetracloruro de silicio refinado mediante el proceso de separación y purificación de clorosilano se envía al vaporizador de tetracloruro de silicio en este proceso y se calienta mediante vaporización con agua caliente. El hidrógeno enviado desde el proceso de preparación y purificación de hidrógeno y el exceso de hidrógeno del proceso de separación en seco del gas de cola de reducción se mezclan en el tanque intermedio de hidrógeno y luego se pasan al vaporizador para formar un gas mixto con una cierta proporción de vapor de tetracloruro de silicio.
El gas mezclado de tetracloruro de silicio e hidrógeno del vaporizador de tetracloruro de silicio se envía al horno de hidrogenación. Cerca de la superficie del electrodo caliente que se energiza en el horno de hidrogenación, ocurre la reacción de hidrogenación del tetracloruro de silicio, generando triclorosilano y cloruro de hidrógeno al mismo tiempo. El gas mixto que contiene triclorosilano, cloruro de hidrógeno, tetracloruro de silicio sin reaccionar e hidrógeno que sale del horno de hidrogenación se envía al proceso de separación en seco del gas de hidrogenación.
Se pasa agua caliente a la camisa del cilindro del horno de hidrogenación para eliminar el calor irradiado por los electrodos calientes en el horno a la pared interna del cilindro del horno y mantener la temperatura de la pared interna del barril del horno. El agua caliente a alta temperatura que sale de la camisa del cilindro del horno se envía al proceso de recuperación de energía térmica. Después de ser enfriada por la caldera de calor residual para producir vapor de agua, se recicla de nuevo a cada camisa del horno de hidrogenación para su uso en este proceso.
9. Proceso de separación en seco del gas hidrogenado
A través de este proceso, el gas hidrogenado procedente del proceso de hidrogenación del tetracloruro de silicio se separa en clorosilano líquido, gas hidrógeno y gas cloruro de hidrógeno, que se reciclan por separado. Regrese al dispositivo para su uso.
El principio y el proceso de separación en seco del gas hidrogenado son muy similares al proceso de separación en seco del gas de síntesis de triclorosilano. El hidrógeno de alta pureza obtenido de la salida del adsorbedor de cambio de temperatura y cambio de presión fluye a través del tanque de amortiguación de hidrógeno y regresa al proceso de hidrogenación del tetracloruro de silicio para participar en la reacción de hidrogenación del tetracloruro de silicio al que se envía el gas residual regenerado por adsorción; el proceso de tratamiento de gases residuales para el tratamiento de cloruro de hidrógeno. El gas de cloruro de hidrógeno purificado obtenido de la parte superior de la torre de desorción se envía al tanque regulador de cloruro de hidrógeno en circulación colocado en el proceso de síntesis de clorosilano en exceso (es decir, el clorosilano separado; del gas de hidrogenación) extraído del fondo de la torre de desorción de cloruro de hidrógeno. El tanque de almacenamiento de hidroclorosilano se envía al proceso de almacenamiento de clorosilano.
10. Proceso de almacenamiento de clorosilano
Este proceso establece los siguientes tanques de almacenamiento: tanque de almacenamiento de clorosilano de 100 m3, tanque de almacenamiento de triclorosilano de grado industrial de 100 m3, tanque de almacenamiento de tetracloruro de silicio de grado industrial de 100 m3, tanque de almacenamiento de 100 m3 tanque de descarga de emergencia de clorosilano, etc.
El líquido de clorosilano separado del proceso de separación en seco del gas de síntesis, del proceso de separación en seco del gas de cola de reducción y del proceso de separación en seco del gas de hidrogenación se envía a los tanques de almacenamiento de materia prima, reducción y clorosilano hidrogenado, respectivamente. y luego los líquidos de cloro silano se envían como materia prima a diferentes torres de destilación en el proceso de separación y purificación de clorosilano.
El líquido mixto de triclorosilano y diclorosilano obtenido en la parte superior de la torre de destilación de 3 etapas en el proceso de separación y purificación de clorosilano, y el triclorosilano obtenido en la parte inferior de las torres de destilación de 4 y 5 etapas El líquido, así como el líquido de triclorosilano obtenido en el fondo de las torres de destilación de las etapas 6, 8 y 10, se envían al tanque de almacenamiento de triclorosilano de grado industrial. El líquido se mezcla en el tanque y se vende como un producto de triclorosilano de grado industrial. .
11. Proceso de preparación del núcleo de silicio
Utilización de la tecnología de combinación de trefilado y corte en horno de zona para procesar y preparar el núcleo de silicio conductor que debe instalarse en el horno durante la producción inicial. del horno de reducción. Durante el proceso de preparación del núcleo de silicio, es necesario grabar el núcleo de silicio con ácido fluorhídrico y ácido nítrico, luego lavarlo con agua ultrapura y luego secarlo. Durante el proceso de tratamiento de corrosión ácida, los gases de fluoruro de hidrógeno y óxido de nitrógeno escaparán al aire. Por lo tanto, se utiliza un ventilador para aspirar el aire que contiene fluoruro de hidrógeno y óxidos de nitrógeno a través de la campana situada encima del tanque de tratamiento de corrosión ácida, y luego el gas es. enviado al equipo de tratamiento de gases de escape se utiliza para tratar los gases residuales y cumplir con los estándares de emisión.
12. Proceso de clasificación del producto
Las varillas de silicio policristalino producidas en el horno de reducción se retiran del horno, se cortan y se rompen en grandes trozos de silicio policristalino. El bloque de silicio policristalino se graba con ácido fluorhídrico y ácido nítrico, se lava con agua ultrapura y luego se seca. Durante el proceso de tratamiento de corrosión ácida, los gases de fluoruro de hidrógeno y óxido de nitrógeno escaparán al aire. Por lo tanto, se utiliza un ventilador para aspirar el aire que contiene fluoruro de hidrógeno y óxidos de nitrógeno a través de la campana situada encima del tanque de tratamiento de corrosión ácida, y luego el gas es. enviado al equipo de tratamiento de gases de escape se utiliza para el tratamiento y las emisiones cumplen con los estándares. Los productos de polisilicio a granel que cumplen con los indicadores de calidad especificados después de las pruebas se envían para embalaje.
13. Proceso de tratamiento de gases residuales y líquidos residuales
1. Purificación de gases residuales del proceso que contiene cloruro de hidrógeno
Gases residuales emitidos por el proceso de purificación de SiHCl3, Arranque y apagado del horno de reducción y emisiones accidentales. El gas residual, el clorosilano y el gas de ventilación de seguridad del tanque de proceso de almacenamiento de cloruro de hidrógeno y el gas residual de adsorción de CDI se canalizan hacia la torre de elución de gas residual para su lavado.
Después de que los gases de escape se lavan continuamente con NaOH al 10 % en la torre de elución, el líquido de lavado en la parte inferior de la torre se bombea al proceso de tratamiento de residuos del proceso y los gases de escape se descargan a través de un tubo de 15 m. -tubo de escape alto.
2. Tratamiento del líquido residual
El líquido residual de la caldera se descarga de la torre de destilación, que contiene principalmente compuestos de tetracloruro de silicio y policlorosilano, y el cloro se descarga después de que se apaga la unidad. El líquido residual se envía a este proceso para su procesamiento.
El líquido a procesar se envía al tanque de recogida de líquidos residuales. Luego use nitrógeno para extraer el líquido y envíelo a la torre de elución de líquido residual para su lavado. Utilice lejía NaOH al 10% para su eliminación. El clorosilano del líquido residual reacciona con NaOH y agua y se convierte en sustancias inofensivas (el principio de tratamiento es el mismo que el tratamiento de los gases residuales que contienen cloruro de hidrógeno y clorosilano).
3. Gas residual ácido
El gas residual ácido generado durante los procesos de preparación del núcleo de silicio y acabado del producto es aspirado hacia el sistema de tratamiento de gas residual a través de la campana de recolección de gas. El gas residual ácido se lava con lechada de cal al 10% en la torre de aspersión para eliminar el gas residual que contiene flúor. Al mismo tiempo, se agrega el agente reductor amoníaco al líquido de lavado para reducir la mayor parte del NOx a N2. y H2O. Después de deshumidificar el gas lavado, el NOx restante en el gas se adsorbe con un adsorbente SDG mediante un método de adsorción sólida (que utiliza metales no preciosos como catalizadores) y luego se descarga a través de un tubo de escape de 20 m de altura.
14. Tratamiento de polvo de silicio residual
Se transportará el polvo de silicio descargado del colector de polvo de alimentación de polvo de silicio de materia prima, el colector de polvo ciclónico en el taller de síntesis de triclorosilano y el reactor de síntesis. a través del residuo de desecho, el canal de material se transporta al embudo de escoria de desecho y ingresa al tubo de decapado con un agitador, donde se usa ácido clorhídrico al 31% para desalcalinizar el polvo de silicio de desecho (polvo) y disolver impurezas como aluminio, hierro y calcio. en el silicio residual. Una vez completado el lavado, se filtra mediante un filtro prensa y los residuos residuales se envían a una secadora para su secado. El polvo de silicio seco se devuelve al ciclo de síntesis de triclorosilano para su uso y el líquido residual se recoge en el gas residual y. Sistema de tratamiento de líquidos residuales para el tratamiento de aguas residuales.
El gas residual que contiene HCl descargado del tanque de decapado y del tanque de filtrado se envía al sistema de tratamiento de líquido residual del gas residual para su tratamiento.
15. Proceso de tratamiento de residuos de proceso
1. Tratamiento de líquidos residuales Clase I
Líquido residual del proceso de síntesis de cloruro de hidrógeno, ajuste de carga, tratamiento de gases residuales de liberación accidental, Parada En el proceso de tratamiento de líquidos residuales de aguas residuales y gases residuales de limpieza del horno, el líquido de lavado de la torre de lavado y el líquido residual que contiene ácido tratado con polvo de silicio residual se mezclan, neutralizan y sedimentan en este proceso, y luego se filtran mediante un filtro prensa. El residuo del filtro (principalmente SiO2) se envía a la planta cementera para producir cemento. El sedimento líquido y el filtrado son principalmente aguas residuales que contienen sal de alta concentración, que contienen más de 200 g/L de NaCl. Esta parte del agua no introduce iones de calcio, magnesio ni sulfato durante la operación y el tratamiento del proceso, y la calidad del agua es la adecuada. cumple con los requisitos para la producción de cloro-álcali, por lo que contiene sal. La tubería de aguas residuales se transporta a
2. Tratamiento de líquidos residuales de clase II
Ácido fluorhídrico residual y ácido nítrico residual y aguas residuales de decapado. del proceso de preparación del núcleo de silicio y del proceso de acabado del producto se tratan con un 10%. Después de neutralizar y sedimentar la emulsión de cal, se filtra a través de un filtro prensa y el residuo del filtro (principalmente CaF2) se envía a la planta de cemento para la producción de cemento. El precipitado y el filtrado son principalmente solución de nitrato de calcio. Después de la evaporación y concentración, se venden como subproductos. El condensado evaporado se reutiliza para preparar una solución alcalina.
Producción metalúrgica de polisilicio: proceso de producción de silicio monocristalino polisilicio de alta pureza → método Czochralski o método de fusión en zona suspendida → silicio monocristalino en forma de varilla → proceso de corte, rectificado, pulido y envasado limpio → obleas de silicio monocristalino .