¿Qué significa cmp?
CMP significa Pulido Mecánico Químico, que es una de las tecnologías clave para el procesamiento de superficies de obleas semiconductoras. La tecnología de pulido químico mecánico se utiliza muchas veces en el proceso de fabricación de obleas de silicio monocristalino y en la primera mitad del proceso. En comparación con el pulido mecánico utilizado anteriormente, el pulido mecánico químico puede hacer que la superficie de la oblea de silicio sea más plana y también tiene las ventajas de un bajo costo de procesamiento y un método de procesamiento simple, por lo que se ha convertido en la tecnología de suavizado de superficies más común para materiales semiconductores. Dado que los componentes de circuitos integrados actualmente generalmente utilizan cableado tridimensional multicapa, el proceso inicial de fabricación de circuitos integrados requiere circulación multicapa. Durante este proceso, la superficie de la oblea debe planarizarse mediante el proceso CMP.
A medida que el proceso CMP continúa avanzando de 14 nm a 7 nm, 5 nm y 3 nm, la tecnología CMP continuará desarrollándose en la dirección de una división refinada del cabezal de pulido, un control inteligente del proceso y una combinación de múltiples energías. de unidades de limpieza. La fabricación de circuitos integrados es el principal escenario de aplicación de los equipos CMP, que se utilizan repetidamente después de la deposición de la película y antes de la fotolitografía. El equipo CMP es un equipo de planarización mecánico-químico; CMP es la abreviatura de "pulido mecánico químico". Es una de las tecnologías clave para el procesamiento de superficies de obleas semiconductoras. También es la tecnología de planarización de superficies de materiales semiconductores más común. Para pulir el cristal con un cabezal de pulido, la superficie redonda a pulir se presiona contra la almohadilla de pulido rugosa y la planarización global se logra con la ayuda de la corrosión del líquido de pulido, la fricción de partículas, la fricción de la almohadilla de pulido y otros acoplamientos.