¿Qué es un analizador FTIR?
Espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier FTIR (espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier)
Utilizada en la industria de fabricación de semiconductores. FTIR es un instrumento de análisis espectral que utiliza espectro infrarrojo para someterse a una transformación de Fourier para analizar la concentración de impurezas.
Propósito: ·Ha sido desarrollado y madurado y puede ser aplicado de Rutina, incluyendo: A. Predicción del contenido de fósforo y boro de BPSG/PSG. B. Predicción del contenido de oxígeno y carbono del chip. C. Medición del espesor epitaxial. ·
Aquellos que necesitan mayor configuración durante el desarrollo incluyen: A. Predicción del contenido de hidrógeno en nitruro de silicio. B. Predicción del contenido de oxígeno en silicio policristalino. C. Análisis de características fotorresistentes. FTIR es un instrumento analítico extremadamente conveniente, y el establecimiento de STD es el foco de toda la medición, porque utiliza principalmente principios ópticos y condiciones del chip (es decir, condiciones de procesamiento de respaldo de cristal) para tener un gran impacto en los resultados de la medición.
En la actualidad, todos los espectrómetros infrarrojos son del tipo transformada de Fourier. El espectrómetro consta principalmente de una fuente de luz (barra de silicio-carbono, lámpara de mercurio de alta presión), interferómetro de Michelson, detector e interferómetro. La parte central del espectrómetro infrarrojo por transformada de Fourier es el interferómetro de Michelson. La muestra se coloca frente al detector. Dado que la muestra absorbe luz infrarroja de ciertas frecuencias, la intensidad de la luz de interferencia recibida por el detector cambia, obteniendo así patrones de interferencia. de diversas muestras. Este patrón de interferencia es la curva de variación de la distancia que recorre la luz con el espejo en movimiento. Con la ayuda de la función de transformada de Fourier, se puede obtener el diagrama en el dominio de la frecuencia del cambio de la intensidad de la luz con la frecuencia. Este proceso se puede completar por computadora.
La medición del espectro infrarrojo de una muestra utilizando un espectrómetro de infrarrojos por transformada de Fourier incluye los siguientes pasos:
1). Recoger el patrón de interferencia del fondo (sin muestra) y la interferencia de la muestra respectivamente.
2), convierta el patrón de interferencia anterior en una luz infrarroja de un solo haz mediante la transformada de Fourier
3), divida el espectro de un solo haz; muestra en el espectro de un solo haz de fondo, obtenga el espectro de transmisión o el espectro de absorción de la muestra.
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