¿Qué es un objetivo?

El material objetivo es el material objetivo bombardeado por partículas cargadas de alta velocidad. Al reemplazar diferentes materiales objetivo (como objetivos de aluminio, cobre, acero inoxidable, titanio, níquel, etc.), diferentes sistemas de película (. como película de aleación súper dura, resistente al desgaste, anticorrosión, etc.).

Actualmente, los blancos de sputtering (de pureza) se pueden dividir en diferentes composiciones químicas:

1) Blancos metálicos (metal puro aluminio, titanio, cobre, tantalio, etc.).

2) Blancos de aleaciones (aleación de níquel-cromo, aleación de níquel-cobalto, etc.).

3) Dianas de compuestos cerámicos (óxidos, siliciuros, carburos, sulfuros, etc.).

Según los diferentes interruptores, se puede dividir en: objetivo largo, objetivo cuadrado y objetivo redondo.

Según los diferentes campos de aplicación, se puede dividir en: objetivos de chips semiconductores, objetivos de pantallas planas, objetivos de células solares, objetivos de almacenamiento de información, objetivos modificados, objetivos de dispositivos electrónicos y otros objetivos.

Los objetivos metálicos incluyen aluminio, titanio, cobre y tantalio. En la fabricación de obleas semiconductoras, la fabricación de obleas de 200 mm (8 pulgadas) o menos generalmente se basa en el proceso del aluminio. Los materiales utilizados son principalmente aluminio. titanio. La fabricación de obleas de 300 mm (12 pulgadas) utiliza principalmente tecnología avanzada de interconexión de cobre, principalmente utilizando materiales objetivo de cobre y tantalio.